LIBS（激光誘導(dǎo)擊穿光譜）技術(shù)是通過納秒脈沖激光聚焦樣品表面形成等離子體，進而對等離子體發(fā)射光譜進行分析以確定樣品的物質(zhì)成分及含量。可以分析任何物態(tài)的樣品，幾乎所有的元素被激發(fā)形成等離子體后都會發(fā)出特征譜線，因此，LIBS可以分析大多數(shù)的元素。如果要分析的材料成分是已知的，則LIBS可用于評估每個構(gòu)成元素的相對豐度，或監(jiān)測雜質(zhì)的存在。常見激光LIBS方案，是利用Nd:YAG激光將材料激發(fā)成等離子體進而檢測樣品。其優(yōu)勢在于樣品不需復(fù)雜的預(yù)處理，可實現(xiàn)在現(xiàn)測量，測量時間短，是一種篩選和分級手段。

我司納秒激光器被全球LIBS集成商廣泛集成，包括德國LTB, 英國Applied Photonics, Atomtrace, Spectral instruments等